大陽日酸は産業ガスのプロフェッショナル。
化合物半導体の製造に必要なガスの供給設備や排ガス処理装置も含め、トータルでご提案が可能です。
バルク供給用1t容器（for super-NH3）
ガス精製器（for NH3, N2, H2）
ハーキュリーバーナー（水素バーナー）
半導体材料ガス
お客様の用途にあった半導体材料ガスを確かな品質と安全で提供します。
シリンダーキャビネット
高圧ガス保安法に準拠したシリンダーキャビネットを提供します。
精製装置
常温吸着、低温吸着およびゲッター式の各方式の精製装置を提供します。
排ガス処理装置
半導体材料ガスを安全かつ確実に無害化処理する排ガス処理装置（除害装置）を提供します。