R&D用の小型機から世界最高クラスの生産性を有する量産機まで、充実のラインナップでLEDやパワー半導体などのGaN系化合物半導体の開発・生産を支えます。
SRシリーズ
主な用途： GaN 研究開発～生産用途
| Model | Type | Wafer | Material | |
|---|---|---|---|---|
| Reactor | Transfer tray | |||
| SR-2000 | 2" horizontal rotary susceptor | 2" x 1 | Stainless Steel | Quartz |
| SR-4000 | 4" horizontal rotary susceptor | 2" x 3 or 4" x 1 | Stainless Steel | Quartz |
| SR-6000 | 6" horizontal rotary susceptor | 2" x 6 or 3" x 3 or 6" x 1 | Stainless Steel | — |
URシリーズ
主な用途： GaN 量産用途
| Model | Type | Wafer | Material | |
|---|---|---|---|---|
| Reactor | Transfer tray | |||
| UR-25K | Rotation & revolution susceptor | 4"x 10 or 6"x 6 | Stainless steel | — |
| UR-26K | Rotation & revolution susceptor | 8"x 6 or 6"x10 | Stainless steel | — |
UR-26K 8"x6 or 6"x10
UR-26K リアクター部